FFU送風方式在凈化空調系統與通風方式對比分析:
1、FFU是隨著生(sheng)產(chan)工藝的(de)不(bu)斷(duan)發(fa)展，微電(dian)子(zi)工業對(dui)環(huan)境(jing)(jing)及其(qi)配套工程(cheng)的(de)要(yao)求越來越嚴格，其(qi)產(chan)品(pin)的(de)成品(pin)率和(he)可(ke)靠性主要(yao)取(qu)決(jue)于(yu)材料(liao)的(de)純(chun)度和(he)制造環(huan)境(jing)(jing)的(de)潔凈(jing)度，對(dui)潔凈(jing)技(ji)術的(de)要(yao)求越來越高(gao)。潔凈(jing)室(shi)（區(qu)）是指空氣懸(xuan)浮(fu)粒子(zi)濃度、含菌(jun)濃度受控的(de)房(fang)間（限定的(de)空間）。

傳(chuan)統(tong)(tong)的(de)凈(jing)(jing)化(hua)空(kong)調(diao)系(xi)統(tong)(tong)主要(yao)采用(yong)集中(zhong)(zhong)送(song)(song)風(feng)(feng)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)，即空(kong)氣(qi)處(chu)(chu)理(li)(li)設備（加(jia)熱器(qi)(qi)、冷卻器(qi)(qi)、加(jia)濕器(qi)(qi)。粗效過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)等）和風(feng)(feng)機(ji)均集中(zhong)(zhong)設置在空(kong)調(diao)機(ji)房(fang)內(nei)，高效過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)布置在系(xi)統(tong)(tong)的(de)末端，并以集中(zhong)(zhong)的(de)送(song)(song)、回風(feng)(feng)管道把(ba)空(kong)氣(qi)處(chu)(chu)理(li)(li)設備和潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)相連接(jie)。這種方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)最大(da)的(de)缺點在于適(shi)應(ying)性(xing)較(jiao)差，如果房(fang)間(jian)的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)度需要(yao)調(diao)整，幾乎(hu)是不可能的(de)。近(jin)年來(lai)，凈(jing)(jing)化(hua)空(kong)調(diao)系(xi)統(tong)(tong)出現了一種新(xin)的(de)送(song)(song)風(feng)(feng)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)：風(feng)(feng)機(ji)過(guo)濾(lv)單元（Fan Filter Unit簡稱(cheng)FFU）送(song)(song)風(feng)(feng)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)。該(gai)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)空(kong)氣(qi)由FFU送(song)(song)到潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)，從回風(feng)(feng)靜壓(ya)箱經兩側夾道回至送(song)(song)風(feng)(feng)靜壓(ya)箱，在回風(feng)(feng)夾道設干式(shi)表冷器(qi)(qi)處(chu)(chu)理(li)(li)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(shi)內(nei)負荷(he)。新(xin)風(feng)(feng)處(chu)(chu)理(li)(li)機(ji)可集中(zhong)(zhong)設在空(kong)調(diao)機(ji)房(fang)內(nei)，處(chu)(chu)理(li)(li)后新(xin)風(feng)(feng)直接(jie)送(song)(song)入送(song)(song)風(feng)(feng)靜壓(ya)箱。這種送(song)(song)風(feng)(feng)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)適(shi)應(ying)能力較(jiao)強(qiang)，在某(mou)半導體(ti)制造(zao)項目凈(jing)(jing)化(hua)空(kong)調(diao)系(xi)統(tong)(tong)采用(yong)了FFU送(song)(song)風(feng)(feng)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)，本(ben)文結合該(gai)工程實(shi)例與傳(chuan)統(tong)(tong)的(de)集中(zhong)(zhong)送(song)(song)風(feng)(feng)方(fang)(fang)(fang)(fang)式(shi)進行比(bi)較(jiao)。

2、某半導體制造項目凈化空調系統
該(gai)項目一期工程主(zhu)廠房凈(jing)(jing)(jing)(jing)化(hua)(hua)區，凈(jing)(jing)(jing)(jing)化(hua)(hua)等(deng)級(ji)1000級(ji)。凈(jing)(jing)(jing)(jing)化(hua)(hua)空調系統(tong)采用傳(chuan)統(tong)的集中送(song)風(feng)方式(shi)，并增(zeng)加(jia)100級(ji)凈(jing)(jing)(jing)(jing)化(hua)(hua)面積(ji)，但由于(yu)要(yao)提(ti)高(gao)凈(jing)(jing)(jing)(jing)化(hua)(hua)等(deng)級(ji)，凈(jing)(jing)(jing)(jing)化(hua)(hua)送(song)風(feng)量(liang)須大(da)(da)幅度(du)提(ti)高(gao)，對傳(chuan)統(tong)的集中送(song)風(feng)方式(shi)來(lai)講，主(zhu)要(yao)設備(bei)循環機組需要(yao)更換(huan)，風(feng)道系統(tong)須重新設計，幾乎等(deng)于(yu)把原有系統(tong)作廢，并且上、下技術夾層(ceng)高(gao)度(du)已定，風(feng)量(liang)加(jia)大(da)(da)，風(feng)管變(bian)大(da)(da)，布置十(shi)分困難(nan)。最后，業主(zhu)采取壓縮百級(ji)凈(jing)(jing)(jing)(jing)化(hua)(hua)面積(ji)，增(zeng)加(jia)局(ju)部凈(jing)(jing)(jing)(jing)化(hua)(hua)設備(bei)等(deng)措施，但效(xiao)果不理(li)想。

業(ye)主要求空調凈化(hua)系(xi)統有一定的(de)靈活性(xing)和適應性(xing)。二期工(gong)程空間布置采(cai)用(yong)開(kai)放式(shi)無隔(ge)間形式(shi)，凈化(hua)空調形式(shi)采(cai)用(yong)FFU送風方式(shi)。開(kai)放式(shi)生(sheng)產區(qu)采(cai)用(yong)垂直單向流，頂(ding)部(bu)均(jun)布FFU，FFU的(de)覆(fu)蓋率為25%，風速為0.38±0.05m/s；同時利用(yong)大量(liang)循環風，循環風與(yu)處理后的(de)新風混合經干(gan)冷卻盤(pan)管冷卻后，進(jin)入上部(bu)回(hui)風靜壓室，經FFU加壓。過濾后送入生(sheng)產區(qu)，其氣(qi)流流程如下:

回風(feng)(feng)→和(he)新風(feng)(feng)混(hun)合→干冷卻(que)盤管→FFU→生產(chan)區(qu)→回風(feng)(feng)格柵(zha)地板→回風(feng)(feng)

各凈化空調(diao)房間(jian)都(dou)送能滿足規范要(yao)求的(de)新(xin)風(feng)，新(xin)風(feng)由新(xin)風(feng)處(chu)理(li)機(ji)集中處(chu)理(li)后送至各凈化房間(jian)，新(xin)風(feng)處(chu)理(li)機(ji)裝置如下:

新風入口→初效過濾器→中效過濾器→化學過濾器→一次加熱盤管→蒸汽加濕器→兩級冷卻盤管→風機→二次加熱盤管→高效過濾器→送風出口。三、FFU通風方式與傳統的集中送風方式對比分析
（1）系統靈活，可隨時調整
FFU送風方(fang)式中(zhong)(zhong)FFU的(de)(de)(de)大小都(dou)以的(de)(de)(de)模(mo)數來(lai)布(bu)(bu)置，并且由于其特殊(shu)的(de)(de)(de)節(jie)點構(gou)造(zao)(zao)，可(ke)以隨時(shi)調整(zheng)位置，以適(shi)應生產布(bu)(bu)局的(de)(de)(de)調整(zheng)。FFU采用開放式布(bu)(bu)置，如(ru)果今后需要(yao)分(fen)隔，可(ke)以很(hen)方(fang)便地進行(xing)改造(zao)(zao)。另(ling)一方(fang)面(mian)，如(ru)果生產區(qu)的(de)(de)(de)潔凈度需要(yao)調整(zheng)，可(ke)以通過增(zeng)減FFU數量改變循環風量來(lai)實現。而這(zhe)對(dui)(dui)于通常的(de)(de)(de)集(ji)中(zhong)(zhong)送風的(de)(de)(de)凈化系統來(lai)說幾乎是不(bu)可(ke)能的(de)(de)(de)。調整(zheng)時(shi)只影響改造(zao)(zao)區(qu)的(de)(de)(de)生產，對(dui)(dui)非改造(zao)(zao)區(qu)幾乎沒(mei)有影響。

（2）出風均勻穩定
FFU自帶風(feng)(feng)(feng)機(ji)和控(kong)(kong)制單元(yuan)，出風(feng)(feng)(feng)很容易做(zuo)到均勻穩(wen)定(ding)，在(zai)集(ji)中送風(feng)(feng)(feng)系統需要靠風(feng)(feng)(feng)閥調(diao)(diao)節(jie)(jie)風(feng)(feng)(feng)量，在(zai)一期工(gong)程施(shi)工(gong)中風(feng)(feng)(feng)量平衡調(diao)(diao)節(jie)(jie)花了兩天多時間(jian)，并且有(you)的區域并沒有(you)完全滿足設計要求。按要求凈化空調(diao)(diao)運行一段時間(jian)后，應(ying)進(jin)行風(feng)(feng)(feng)量平衡的再調(diao)(diao)節(jie)(jie)，但(dan)根據回訪用戶得知，由于調(diao)(diao)整復雜，影(ying)響(xiang)生產，沒有(you)進(jin)行此項工(gong)作。二期工(gong)程中每個FFU帶有(you)控(kong)(kong)制單元(yuan)，所有(you)控(kong)(kong)制單元(yuan)由計算機(ji)控(kong)(kong)制，可(ke)以做(zuo)到實時地(di)調(diao)(diao)整。

（3）經濟性
過去，由于(yu)FFU的(de)價(jia)格居高(gao)(gao)不(bu)下(xia)，造(zao)成FFU送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式造(zao)價(jia)很高(gao)(gao)。目前，許(xu)多(duo)國內(nei)廠(chang)家紛(fen)紛(fen)推出FFU產品，大大降低(di)了FFU送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式的(de)造(zao)價(jia)。在上文介紹的(de)某半(ban)導體制造(zao)項(xiang)目二(er)期(qi)工程(cheng)中，經測算，FFU送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式在空(kong)調系統(tong)方面(mian)的(de)造(zao)價(jia)略高(gao)(gao)于(yu)集中送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式。在高(gao)(gao)級別的(de)潔凈(jing)室中，FFU送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式所需要(yao)的(de)上技(ji)(ji)術夾(jia)層(ceng)高(gao)(gao)度比集中送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式要(yao)低(di)，在該工程(cheng)二(er)期(qi)工程(cheng)中，潔凈(jing)區工作層(ceng)層(ceng)高(gao)(gao)7.2m，下(xia)技(ji)(ji)術夾(jia)層(ceng)5.5m，上技(ji)(ji)術夾(jia)層(ceng)6.5m。如采用(yong)傳統(tong)的(de)集送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式，經測算，上技(ji)(ji)術夾(jia)層(ceng)至少需要(yao)8m。這樣FFU送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式土建(jian)成本(ben)下(xia)降了，總成本(ben)低(di)于(yu)傳統(tong)中送(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)方式。在二(er)期(qi)工程(cheng)方案設計(ji)時，做(zuo)了一個經濟性比較（見表2）。

（4）負壓密封
FFU送風方式的(de)靜壓(ya)(ya)箱(xiang)為負壓(ya)(ya)，風口安裝的(de)密(mi)封相對(dui)容易一些，而(er)且即使(shi)出(chu)現泄漏，也(ye)是從(cong)潔凈室向靜壓(ya)(ya)箱(xiang)泄漏，不會形成對(dui)潔凈室的(de)污(wu)染。當然，FFU送風方式也(ye)有自身(shen)的(de)缺點。

在低級(ji)(ji)(ji)別(bie)的(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)（千級(ji)(ji)(ji)以上(shang)），采用FFU送(song)風(feng)系統需(xu)要大量的(de)Ceiling Grid、FFU、架空地(di)板(ban)，造價較(jiao)高(gao)。而集中送(song)風(feng)方式對于(yu)低級(ji)(ji)(ji)別(bie)的(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)可采用上(shang)送(song)側(ce)下回(hui)的(de)氣流形式，不(bu)使用架空地(di)板(ban)，甚至(zhi)在10萬級(ji)(ji)(ji)以上(shang)的(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)可采用上(shang)送(song)上(shang)回(hui)的(de)方式，連回(hui)風(feng)夾(jia)道都省了。

針對這種(zhong)問題，出(chu)現(xian)了FFU的(de)簡化(hua)系(xi)統，實際(ji)上就(jiu)是集中(zhong)(zhong)送(song)風(feng)(feng)和(he)FFU的(de)組合(he)。該種(zhong)方(fang)式(shi)取消架空地板和(he)干冷(leng)卻(que)盤管(guan)，采用上送(song)側下(xia)回(hui)的(de)氣流(liu)形式(shi)，室(shi)內負荷由循環(huan)機(ji)組處理。例如(ru)，在某(mou)硅晶片生產廠房檢查室(shi)中(zhong)(zhong)就(jiu)采用了這種(zhong)方(fang)式(shi)。該室(shi)凈化(hua)級(ji)(ji)別為5級(ji)(ji)，采用新風(feng)(feng)機(ji)組+循環(huan)機(ji)組+FFU的(de)空調方(fang)式(shi)。采用的(de)氣流(liu)形式(shi)為頂部 FFU送(song)風(feng)(feng)，房間側下(xia)百葉風(feng)(feng)口回(hui)風(feng)(feng)。系(xi)統原理圖見圖2。

FFU的另一個(ge)缺點是設備(bei)數量(liang)眾(zhong)多而分散，不便于(yu)維(wei)護(hu)。而且FFU布置在(zai)(zai)吊頂上，維(wei)修有一定困難。而集中送風方式因(yin)設備(bei)較為集中，數量(liang)也少，易于(yu)維(wei)護(hu)。FFU不適用于(yu)對(dui)噪(zao)音(yin)要(yao)求有嚴格(ge)要(yao)求的場合，目(mu)前單個(ge)FFU的噪(zao)音(yin)一般在(zai)(zai)50dB（A）以上，幾(ji)(ji)十個(ge)幾(ji)(ji)百(bai)(bai)個(ge)甚(shen)至幾(ji)(ji)千個(ge)FFU一起(qi)工作(zuo)。在(zai)(zai)上文介(jie)紹(shao)的某半導體制造項目(mu)一期(qi)工程百(bai)(bai)級凈化區(qu)實測(ce)噪(zao)聲(sheng)(sheng)值在(zai)(zai)56~62dB（A）之(zhi)間(jian)。在(zai)(zai)二期(qi)工程百(bai)(bai)級凈化區(qu)實測(ce)噪(zao)聲(sheng)(sheng)值在(zai)(zai)67~69dB（A）之(zhi)間(jian)。目(mu)前噪(zao)聲(sheng)(sheng)問題還(huan)是FFU的一項研究課題。

四、結論
由(you)于(yu)FFU送風方式(shi)的(de)靈活性，在微電(dian)子(zi)工業潔凈(jing)廠房中得到(dao)越來越多的(de)應(ying)(ying)(ying)用(yong)。其應(ying)(ying)(ying)用(yong)方式(shi)有很多種，應(ying)(ying)(ying)根據項目的(de)實際(ji)情況進行不(bu)同(tong)的(de)應(ying)(ying)(ying)用(yong)，達到(dao)既保留其特點(dian)又減少其缺點(dian)的(de)目的(de)。在具體應(ying)(ying)(ying)用(yong)時還有以下幾(ji)點(dian)應(ying)(ying)(ying)該得到(dao)很好的(de)解決:

（1）結合實際(ji)的(de)工程(cheng)特點選擇合適的(de)FFU。FFU由于品牌的(de)不同,自(zi)身的(de)余壓差異比較(jiao)大,系統設計時應盡量(liang)減(jian)少風(feng)道阻力(li)，并(bing)且要對(dui)新風(feng)進行多級過(guo)濾,以確保FFU的(de)風(feng)量(liang)下降不至太(tai)快(kuai)。

（2）FFU的電(dian)效率直接關(guan)系(xi)到系(xi)統(tong)的能耗(hao)，選型時必須優先選用高效的FFU。

（3）考慮(lv)FFU的維護(hu)。高效過(guo)濾器從潔凈室里面(mian)更換，電機(ji)需要在吊頂(ding)上面(mian)維護(hu)，靜壓箱無(wu)足夠(gou)的高度無(wu)法上面(mian)維護(hu)時，必須考慮(lv)從潔室內部維護(hu)的可(ke)能性。

（4）FFU送風方式噪(zao)聲(sheng)較大(da)，設計時必須(xu)考慮消聲(sheng)措施。

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