國內外目前最新-潔凈度等級對照表

附：潔凈室的(de)空氣潔凈度，應(ying)進行下列測試

(一)空態、靜(jing)態測試

空態(tai)測試:潔(jie)凈室已竣工(gong)，凈化空氣(qi)調(diao)節系統(tong)已處(chu)于正常運行狀態(tai)，室內(nei)沒(mei)有工(gong)藝設(she)備(bei)和生產人員的情(qing)況下進行測試。

靜(jing)態測(ce)試:潔凈(jing)室凈(jing)化空氣調節系統(tong)已(yi)(yi)處于正(zheng)常運行(xing)(xing)狀態，工藝(yi)設(she)備已(yi)(yi)安裝，室內沒有生產人員的情況下進行(xing)(xing)測(ce)試。

(二)動(dong)態(tai)測(ce)試潔凈(jing)室已處于正常生產(chan)狀態(tai)下進行測(ce)試。

潔凈室的(de)風量、風速、正壓、溫度、濕(shi)度、噪聲的(de)檢(jian)測，可按一般(ban)通用、空氣(qi)調節(jie)的(de)有關規定執行。

二、空態、靜態測試

(一)測試前的準備

1、應對潔(jie)凈室及其凈化空氣(qi)調節(jie)系(xi)統(tong)進行徹底(di)清潔(jie)。

2、采用光散(san)射粒子計數器(qi)對(dui)高(gao)(gao)效(xiao)空氣過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)進行檢(jian)漏(lou)測試(shi)。首(shou)先測定高(gao)(gao)效(xiao)空氣過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)的(de)上風(feng)側(ce)靜壓(ya)箱內(或(huo)風(feng)管內)粒徑大于(yu)或(huo)等于(yu)0.5微米(mi)(mi)的(de)塵(chen)粒數應為(wei)大于(yu)或(huo)等于(yu)30，000粒/升。如若(ruo)不夠，可引(yin)入(ru)煙霧，然(ran)后開始檢(jian)漏(lou)。將粒子計數器(qi)(或(huo)檢(jian)漏(lou)裝置)的(de)采樣口距離高(gao)(gao)效(xiao)空氣過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)2–3厘(li)米(mi)(mi)處，可以2~4厘(li)米(mi)(mi)/秒的(de)速度移動，對(dui)高(gao)(gao)效(xiao)空氣過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)整個斷面封頭膠(jiao)處和安裝框(kuang)架處進行掃(sao)描。

當粒子計數器(qi)讀數為空氣口大(da)于(yu)或等(deng)于(yu)0.5微(wei)米的塵粒超過(guo)3粒/分·升(sheng)(或其穿透率大(da)于(yu)0.01‰)即認為該處有明顯滲(shen)漏，必須進行堵(du)漏。

(二)測試內容

1、總送(song)風(feng)量(liang)、總回風(feng)量(liang)、新鮮空氣量(liang)、排(pai)風(feng)量(liang)等;

2、潔凈室壓力值;

3、層流潔凈(jing)室斷面風速和氣流流向;

4、潔(jie)(jie)凈工作區的潔(jie)(jie)凈度;

5、室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;

6、潔凈室內噪聲。

(三)潔凈工作區空氣潔凈度的(de)測(ce)試方法(fa)對(dui)于粒(li)(li)徑大于或等于0.5微米的(de)塵粒(li)(li)計(ji)數(shu)，宜采用(yong)光散射粒(li)(li)子(zi)計(ji)數(shu)法(fa)。對(dui)于粒(li)(li)徑大于或等于5微米的(de)塵粒(li)(li)計(ji)數(shu)。也可采用(yong)濾(lv)膜顯微鏡計(ji)數(shu)法(fa)。光散射粒(li)(li)子(zi)計(ji)數(shu)法(fa):

1、光散(san)射(she)粒子(zi)計數器(qi)(qi)采(cai)(cai)(cai)樣(yang)(yang)量(liang)(liang)(liang)100級(ji)(ji):每次(ci)采(cai)(cai)(cai)樣(yang)(yang)量(liang)(liang)(liang)大于(yu)(yu)或等于(yu)(yu)1升。l，000級(ji)(ji)-l0，000級(ji)(ji):每次(ci)采(cai)(cai)(cai)樣(yang)(yang)量(liang)(liang)(liang)大于(yu)(yu)或等于(yu)(yu)0.3升。100，000級(ji)(ji):每次(ci)采(cai)(cai)(cai)樣(yang)(yang)量(liang)(liang)(liang)大于(yu)(yu)或等于(yu)(yu)0.1升。對(dui)于(yu)(yu)100級(ji)(ji)潔凈室，宜采(cai)(cai)(cai)用(yong)大流量(liang)(liang)(liang)粒子(zi)計數器(qi)(qi)進行測試;如果條件不具備時，可采(cai)(cai)(cai)用(yong)每次(ci)采(cai)(cai)(cai)樣(yang)(yang)量(liang)(liang)(liang)不小于(yu)(yu)1升的粒子(zi)計數器(qi)(qi)。

2、采樣注意事項:

(1)采樣管必須干(gan)凈，連接處嚴禁滲漏(lou)。

(2)采樣管(guan)的長度(du)，應根據儀器的允許(xu)長度(du)。當無規定(ding)時，不(bu)宜大(da)于1.5米。

(3)采樣管口的流速(su)，宜與(yu)潔凈室(shi)斷(duan)面平均風速(su)相接近(jin)。測試人員應在采樣口的下(xia)風側。

(4)采(cai)樣順序應(ying)按含塵濃度(du)從(cong)低到(dao)高進行。

3、測點布置

(l)檢(jian)測在潔凈(jing)工(gong)作區內進行。當生產工(gong)藝無(wu)特殊要(yao)求時，取樣高度宜為離(li)地面1米

(2)層流潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)測點(dian)總數不小于(yu)20點(dian)，測點(dian)間(jian)距為0.5~2.0米，粒徑大于(yu)或等于(yu)0.5微米的塵粒數允許有一(yi)個點(dian)超過(guo)。水平層流潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)測點(dian)僅布置在(zai)第(di)一(yi)潔(jie)凈(jing)工作區內(nei)。

(3)亂流潔凈室可按(an)潔凈面積小于(yu)或等于(yu)50平方(fang)米布置5個測點(附(fu)圖2)。每增加20-50平方(fang)米，增加3–5個測點。

4、數據整理

(1)每(mei)個(ge)測(ce)點的(de)(de)數(shu)據(ju)整理應在測(ce)試(shi)儀器穩定(ding)運行的(de)(de)條件(jian)下(xia)連續三次(ci)采樣，取(qu)其平均(jun)值，即為該點的(de)(de)實測(ce)數(shu)值。

(2)對(dui)于(yu)大于(yu)或等于(yu)0.5微米的塵粒數確定:層流潔凈室取各測定點最大值，亂流潔凈室取各測點的平均值。

(四)正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微(wei)壓計。

三、動態(tai)測(ce)試。在潔凈工(gong)作(zuo)區操作(zuo)位置選(xuan)擇有代(dai)表(biao)性測(ce)點的氣(qi)流上風向(xiang)進行，測(ce)試方法(fa)同(tong)空態(tai)、靜態(tai)測(ce)試。